Beschreibung
Der Massenstromregler (MFC) Typ 8711 eignet sich zur Regelung der Massenströmung von Gasen über einen großen Durchflussbereich. Der thermische MEMS-Sensor befindet sich direkt im Gasstrom und erreicht dadurch sehr schnelle Reaktionszeiten. Ein direktwirkendes Proportionalventil garantiert eine hohe Empfindlichkeit. Der integrierte PI-Regler sorgt für hervorragende Regelcharakteristika des MFC.
Durchflussregler Beschreibung
- Nenndurchflussbereich: 10 mlN / min bis 80 lN / min (N2)
- Betriebsgas Neutrale, nicht kontaminierte Gase
- Kalibriergas Betriebsgas oder Luft mit Umrechnungsfaktor
- Max. Betriebsdruck (Eingangsdruck) 10 bar (145 psi) abhängig von der Öffnung des Ventils
- Gastemperatur – 10 bis + 70 ° C (- 10 bis + 60 ° C mit Sauerstoff)
- Umgebungstemperatur – 10 bis + 50 ° C
- Genauigkeit ± 0.8% o.R. ± 0.3% F.S. (nach 1 min Aufwärmzeit)
- Wiederholbarkeit ± 0.1% F.
- Einschwingzeit (t95%) <300 ms
- Werkstoffe Gehäuse: Aluminium oder Edelstahl, Gehäuse: PC (Polycarbonat) oder Metall, Dichtungen: FKM, EPDM
- Anschlussverbindung NPT ¼, G ¼, einschraubbar
- Regeleinheit (Proportionalventil): normal geschlossen, Ventilöffnung: 0,05 bis 4,0 mm, kVS-Wert: 0,00006 bis 0,32 m3 / h
- Elektr. Anschluss zusätzlich: Stecker D-Sub 15-polig, optional PROFIBUS-DP: Buchse M12 5-polig mit CANopen: Buchse M12 5-polig
- Stromversorgung 24 V DC
- Stromaufnahme max. 3.5 bis 14 W (abhängig vom verwendeten Proportionalventil)
- Eingangssignal: 0 bis 5 V, 0 bis 10 V, 0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA> 20 kOhm (Spannung), <300 Ohm (Strom)
- Ausgangssignal: 0 bis 5 V, 0 bis 10 V, 0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA, max. Strom (Spannung): 10 mA, Max. Belastung (Strom) 600 Ohm
- Digitale Kommunikation über Adapter möglich: RS232, Modbus RTU (über RS-Adapter) RS485, RS422 oder USB
